ウェットプロセス水晶振動子フィードバック制御による有機・無機多層膜ナノスケール制御
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概要
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水晶振動子微量天秤を交互吸着法に組み込むこよにより基板への吸着をその場でモニタリングすることが可能である。これまで、交互吸着法を用いてポリイオン溶液中での各層ごとの周波数変化から薄膜の膜厚を制御していたが、各層の膜成長速度にばらつきが見られた。そこで基板上に強電解質高分子のバッファ層を加えることと、サイクルごとで吸着質量をモニタリングすることのできるプログラムを導入することで膜厚の制御性を改善した。水晶振動子の周波数変化、透過型電子顕微鏡(TEM)、エリプソメーターの結果より非常に良い精度で膜厚制御できることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-06-29
著者
-
伊藤 孝浩
慶應義塾大学理工学部物理情報工学科
-
白鳥 世明
慶應義塾大学
-
白鳥(謝) 世明
慶應義塾大学 理工学部
-
白鳥 世明
慶應義塾大学理工学部白鳥研究室
-
白鳥 世明
慶應義塾大学理工学部物理情報工学科
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