接合型水素センサ
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概要
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水素ガスを簡便に検出するセンサがPd金属薄膜と半導体とのヘテロ接合を用いて開発された。まず、n型酸化亜鉛またはシリコンの単結晶からなるショットキー障壁ダイオード型水素センサが常温動作可能であることから明らかにした。とくに、Pd, SiO_x/Siダイオードにおいては素子動作の安定化をはかる方法を考案した。半透明性極薄Pd膜と酸化タングステン膜の2層構造からなる水素クロミック素子が光学的信号を出力するセンサとして開発された。その光透過型素子ではガラス基板上に堆積した酸化タングステンが、光反射型素子ではタングステンの陽極酸化膜が使用された。水分を含む酸化膜からなる常温の素子は約10秒の応答時間で水素ガスを検出できる。
- 1993-07-26
著者
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