誘電体共振器法による高温超電導薄膜の表面抵抗のミリ波測定に関する検討
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概要
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本報告では、10GHzから40GHzにわたり、TE_<011>モードとTE_<013>モードの2つのサファイア円柱共振器を用いる2共振器法によるYBCO薄膜の表面抵抗R_sの測定精度の周波数依存性に対する検討を行う。実際に12GHzおよび20GHzにおいて種々のYBCO薄膜のR_sの温度依存性の測定を行い、その測定精度を評価する。結論として、測定精度10%が12GHzでR_s=0.1mΩをもつYBCO薄膜に関して本法により実現される。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-04-23
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