リッジ構造を有するLiNbO_3広帯域光変調器
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概要
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LiNbO_3光変調器は将来の大容量光通信方式のキーデバイスの一つであり、特に進行波電極を用いることにより広帯域動作が期待できる。本稿では,LiNbO_3基板をエッチングしてリッジ構造としたデバイスについて,その設計・製作・特性について述べる。リッジ構造を用いることにより,光とマイクロ波の速度整合を行なうと共に相互作用を増大し,変調帯域の拡大・駆動電圧の低減を同時に達成できることを,計算・実験で明らかにした。マッハツェンダ形強度変調器を作製し,波長1.5μm帯において変調帯域75GHz以上,駆動電圧5.0Vの特性を得た。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-23
著者
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