誘導結合プラズマスパッタリング法で作製したYBa_2Cu_3O_y薄膜のマイクロ波特性の評価
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概要
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誘導結合プラズマスパッタリング法を用いて作製したYBa_2Cu_3O_y (YBCO)薄膜のマイクロ波領域での表面抵抗をサファイアロッドを用いた誘電体共振器法により評価した。YBCO薄膜をLaAlO_3(LAO)基板の両面とBaSnO_3バツファー層を用いたMgO基板上に作製した。LAO基板上両面薄膜の表面抵抗は第2面の方が優れていたが, これは第2面目成膜時の実効的な基板温度が上昇したためであると考えられる。BSO/MgO上薄膜の表面抵抗は測定周波数22GHzにおいて35Kで0.38mΩ、77Kで1.13mΩとなり、これをf^2則に従って10GHzに換算すると35Kで0.08mΩ、77Kで0.23mΩであった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-07-30
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