金属を添加したゲルマニウム超薄膜の光学特性と積層型偏光子の広帯域化への応用
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
積層型偏光子の広帯域化・高性能化を目的に、金属を添加したゲルマニウム超薄膜の作製と光学特性の評価を行った。成膜は、金属とゲルマニウムから成る複合ターゲットを用いた高周波スパッタリング法により行った。添加金属としては、代表的な金属であるアルミニウムと耐腐食・ガラス接着性に優れたステンレス鋼を用いた。金属添加により、ゲルマニウムの複素誘電率の虚部の絶対値が大きくなるほか、長波長域では実部も大きくなることが分かった。金属添加ゲルマニウム超薄膜を用いた積層型偏光子の特性を求めた結果、短波長領域で従来より性能指数を大幅に向上できるほか短波長から長波長にわたる広い波長範囲で高い性能指数(300以上)を有することを見出した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-04-27
著者
関連論文
- 電磁界シミュレータおよびモード解析を用いたテーパ導波路の伝搬特性に関する検討(マイクロ波技術一般)
- 2乗形ファイバの基本モードを利用したファイバコリメータ
- GIOファイバの縦続接続による界分布形状の連続的変換
- 高アスペクト比を有する980nm LDとの高効率結合用レンズドファイバ
- 石英系GIOファイバによる楕円界分布をもつ半導体レーザとファイバとの高効率結合
- B-13-3 アスペクト比の大きなコアを持つ石英系 GIO ファイバによる界分布変換
- B-13-2 GIO ファイバと非球面レンズを用いた LD-SMF 高効率結合
- B-13-1 大きな非点収差を有する高出力 LD 用レンズドファイバの提案
- 解説 グレーデッド形楕円コア(GIO)ファイバの開発
- 石英系GIOファイバにおける界分布変換機能の実験的検討
- B-13-4 楕円コアGIファイバにおける界分布変換効果の実験的検証
- 楕円率の大きな発行面を有する半導体レーザと単一モード光ファイバとの高効率結合の一方法
- 楕円コアを有するGIファイバによる界分布変換とその応用
- 楕円コアを有するGIファイバによる界分布変換
- 二乗形屈折率分布ファイバによる単一モード光ファイバのスポット径縮小とその応用
- SC-3-5 低損失誘電体材料を用いた WG モードミリ波フィルタ
- ストライプ磁区構造を有するガーネット単結晶を用いた光磁界センサ(計測・高周波デバイス)
- C-3-20 偏光分離素子用異方性光学薄膜の屈折率測定(光記録・計測(I),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- 波長以下のスポット直径に集光可能なレンズド光ファイバ
- B-13-2 樹脂を介した直接結合が可能な高屈折率層被覆レンズドファイバ(B-13.光ファイバ応用技術,一般セッション)
- B-13-1 固有ビーム径GIファイバを用いた平凸レンズド光ファイバ(B-13.光ファイバ応用技術,一般セッション)
- C-3-55 金属薄膜サブ波長格子から成る偏光子(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-41 同時アップテーパによるスポットサイズ変換器の小型化(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-3 同時アップテーパから成るスポットサイズ変換器(導波路デバイス(1),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 金属薄膜サブ波長格子から成る偏光子(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 金属薄膜サブ波長格子から成る偏光子(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 金属薄膜サブ波長格子から成る偏光子(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 金属薄膜サブ波長格子から成る偏光子(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 分散補償ファイバモジュールの高性能化(光ファイバ)
- B-13-11 コアレスファイバを用いた高屈折率層被覆レンズドファイバ(B-13.光ファイバ応用技術,一般セッション)
- C-3-66 基板面に垂直な方向のダウンテーパを用いたスポットサイズ変換器(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-67 二つの合成アップテーパから成るスポットサイズ変換器(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 大きな偏光分離角を有する斜め配向シリコン蒸着膜の低損失化
- プラノコンベックスシリコンマイクロレンズ付き光ファイバ
- 縦続接続テーパから成るシリコン細線導波路用スポットサイズ変換器(光パッシブコンポーネント(フィルタ,コネクタ,MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般)
- C-3-17 シリコン微小平凸レンズ付GIファイバを有するレンズドファイバ(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-23 縦続接続テーパ導波路を用いたシリコン細線導波路用スポットサイズ変換器(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-40 異方性媒質シングルモード光導波路の光デバイスへの応用(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- TECファイバアレイー括集積形レンズフリー・アラインメントフリー光アイソレータ
- レンズフリー集積化技術を応用した光デバイス : 光アイソレータと光スイッチの新展開
- ファイバ集積型アイソレータの新構成方法の提案と試作
- ファイバ集積型アイソレータの高性能化の一方法
- 積層形偏光分離素子を用いた偏波無依存ファイバ集積型アイソレータの作製
- 積層形偏光分離素子を用いた偏波無依存ファイバ集積型アイソレータ
- インライン光デバイス用大ビーム径伝搬GIファイバ(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
- インライン光デバイス用大ビーム径伝搬GIファイバ(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
- B-13-8 基本モードの界分布が大きな GI ファイバを用いたファイバ型コリメータ
- C-3-110 加熱により55μmまでのMFD拡大が可能な集積型平面光回路(PLC)(C-3.光エレクトロニクス)
- 斜め配向Si厚膜の作製と広開口偏光分離素子への応用
- 斜め配向Si厚膜の作製と広開口偏光分離素子への応用
- 斜め配向Si厚膜の作製と広開口偏光分離素子への応用
- 斜め配向Si厚膜の作製と広開口偏光分離素子への応用
- 大きな偏光分離特性を有する斜め配向柱状 Si 膜の作製
- B-13-9 インライン光デバイス用大ビーム径伝搬GIファイバ(B-13. 光ファイバ応用技術)
- B-13-9 GIO ファイバを用いた高効率レンズドファイバ結合系
- Si/SiO_23次元サブミクロン周期構造 : 作製と応用について
- Si/SiO_23次元サブミクロン周期構造 : 作製と応用について
- 積層型偏光分離素子の低損失化
- C-3-93 縦続接続テーパ導波路を用いたシリコン細線用スポットサイズ変換器の試作(導波路デバイス(I),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- C-3-63 マッハツェンダー型光変調器のバイアス点制御(光変調器,C-3. 光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-16 プラスチック光導波路屈折率異方性測定の一考察(導波路デバイス(II),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- CS-3-9 縦列接続テーパ導波路を用いたスポットサイズ変換器(CS-3.シリコン・フォトニクス技術の最新動向,シンポジウム)
- C-3-35 金属薄膜サブ波長格子構造偏光子技術(フォトニック結晶,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 金属添加半導体超薄膜を用いた広帯域積層型偏光子
- 金属添加半導体を吸収層にもつ広帯域積層型偏光子
- C-3-17 高い集光特性を有する高屈折率被覆レンズドファイバ(バッシブデバイス,C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- 高効率非球面レンズドGIOファイバの光学特性の解析と作製(光エレクトロニクス)
- C-3-60 先端に高屈折率層を有する高NAレンズドファイバ(導波路デバイス(2),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- 先端に高屈折率層を有する高NAレンズドファイバ(次世代光ファイバ, 光計測, 光伝搬, 光信号処理, 一般)
- C-3-53 青紫色半導体レーザとレンズドファイバの結合(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- B-13-7 非球面レンズドGIOファイバ結合系(B-13. 光ファイバ応用技術, 通信2)
- 金属と半導体の交互多層膜から成る人工媒質の光学特性
- 金属と半導体の交互多層膜から成る人工媒質の光学特性
- EMD2000-43 / CPM2000-58 / OPE2000-55 / LQE2000-49 石英と多結晶シリコンから成る低損失LPSの作製
- C-3-16 光学多層膜を用いたヒットレス波長チューナブルフィルタ(バッシブデバイス,C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- 誘電体楕円板共振器の共振特性と共振時電界分布
- RFバイアススパッタリング法による滑らかな側面をもつ石英系光導波路の作製方法
- C-3-57 グレーデッド形高屈折率導波路を用いたスポットサイズ変換器(導波路デバイス(2),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- C-3-79 細径コア導波路用スポットサイズ変換器(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- C-4-29 GIOファイバチップを用いた青紫色半導体レーザと単一モード光ファイバの高効率結合(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス)
- ポリシリコンを用いた積層形偏光分離素子の層間平滑化について
- 20°以上の分離角を有する積層形偏光分離素子用光学多層膜の低損失化
- 20°以上の分離角を有する積層形偏光分離素子用光学多層膜の低損失化 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
- C-3-9 縦続接続テーパ導波路を用いたシリコン細線用スポットサイズ変換器(導波路デバイス(II),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- 先球コアレスファイバとGRINファイバチップを用いた長作動距離レンズドファイバ
- 先球コアレスファイバを用いた長作動距離レンズドファイバの試作
- 作動距離の長いレンズドファイバ結合系
- B-13-26 固有ビーム径GIFを用いたHILCレンズドファイバ(B-13.光ファイバ応用技術,一般セッション)
- C-3-3 赤外用金属薄膜サブ波長多重格子構造偏光子(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-2 インプリント法による金属薄膜サブ波長格子構造偏光子の作製(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- 島状金属を有する半導体薄膜の光学特性
- C-3-61 垂直方向ダウンテーパを用いたスポットサイズ変換器(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- C-3-80 光学密着を利用した埋め込み形平面導波路(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- C-3-101 先端半円柱スラブレンズから成る細径コア導波路用スポットサイズ変換器(光受動部品)(C-3.光エレクトロニクス)
- BCS-1-8 高い集光特性を有するレンズドファイバ(BCS-1. 光ファイバ接続技術の現状と将来動向,シンポジウムセッション)
- C-3-49 水素化アモルファスシリコン酸化膜を用いた Rugate フィルタの作製
- C-3-85 改良インプリント法による金属薄膜サブ波長格子構造偏光子の作製(パッシブデバイス(II),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- BCS-1-8 高い集光特性を有するレンズドファイバ(BCS-1.光ファイバ接続技術の現状と将来動向,シンポジウムセッション)
- マルチインライン光アイソレータの一構成法
- C-3-84 金属薄膜サブ波長多重格子構造偏光子の実験的検討(パッシブデバイス(II),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)