誘導結合プラズマ質量分析計の試作とその特性
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概要
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市販の発光分光分析用の誘導結合プラズマと四重極質量分析計を用いて試作を行った.3段の差動排気系にCu又はNi製の試料導入オリフィス(直径0.5mm)とステンレス鋼製のスキマー(直径1.0mm)を取り付けた.感度を上げるためには,オリフィス,スキマー,イオンレンズ及び質量分析計の軸を精密に調整することが重要であった.水,5%の塩酸,硝酸及び硫酸溶液で測定したバックグラウンド質量スペクトルは,文献に報告されたものとほぼ同様のものが得られた.試料導入オリフィスの口の部分にはピンチ放電は観測されなかったが,キャリヤーガス流量を増加させると急激にBa及びLaの2価イオン強度が増加した.Ba及びLaの2価と1価イオンの強度比は又,プラズマの高周波電力によっても変化した.これらの比は,高周波電力1.2kW,キャリヤーガス0.75l/minのとき,約2%であった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1987-04-05
著者
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