オージェ電子分光法における頻用相対感度係数のマトリックス効果とその補正の検討(<特集>無機材料分析のためのスペクトロメトリー)
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概要
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相対感度係数を用いる電子線励起オージェ電子分光法による定量分析は,かなりの誤差を定量結果に含んでおり,しかも一般に頻用されている相対感度係数自身についても問題点が指摘されている.そのため実用上便利な相対感度係数法をより正確に応用するため,相対感度係数の中で大きな役割を演じているオージェ電子の平均自由行程に対する原子量,原子番号などの効果,すなわちマトリックス効果の補正導入を試みた.その結果,二元系試料で実験的に得られた相対感度係数に近い値に頻用の相対感度係数を補正できる可能性のあることが分かった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1986-08-05
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