Ga^+一次イオンTOF-SIMSによるSi酸化膜厚評価の可能性

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2004-06-10

著者

• 広川 吉之助

  東北大学金属材料研究所

• 李 展平

  アルバック・ファイ株式会社

• 広川 吉之助

  アルバック・ファイ株式会社

• 広川 吉之助

  東北大

• 広川 吉之助

  アルバック・ファイ

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