X線光電子分光法による定量的分析の応用例
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概要
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X線光電子分光法(XPS)による固体表面の定量分析は標準試料の調製が困難か不可能に近いこと,電子の物質中での挙動が特にXPSで測定するエネルギー範囲では不明確な点が多いことなどの理由であまり試みられていない.本研究は固体表面を構成する物質中の原子比を求める定量的分析法がどの程度応用できるか,又その場合得られた分析値は一応納得がいくものかを各種酸化物と二,三の金属試料について検討した.その結果XPSによる定量的分析は厳密な正確度が要求されない場合には十分応用できることが認められた.
- 1977-08-05
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