誘導結合型プラズマ質量分析法による超大規模集積回路用ホトレジスト溶液中のナトリウム及び鉄の定量
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概要
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超大規模集積回路の製造工程に使用されるホトレジスト溶液中に含まれる微量のナトリウム及び鉄を誘導結合型プラズマ質量分析法で定量するときの条件について検討し, 日常の品質管理のための分析法を確立した.ホトレジスト溶液を酢酸-2-エトキシエチルで希釈して直接導入して分析した.プラズマのキャリヤーガス中に酸素を混合することによりサンプリングコーンに付着する樹脂及び炭素を取り除き, <23>^Na及び<56>^Feにおけるバックグラウンドシグナルを低下させる条件を検討した.その結果, ホトレジスト希釈溶液における3σに相当する検出限界はナトリウムで1.2ppb, 鉄で1.0ppbであった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1990-12-05
著者
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