27aA1 二重ルツボを用いたCMCZ法によるSi単結晶成長(バルク結晶成長シンポジウムI)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1993-07-10
著者
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安部 啓成
三菱マテリアル(株) 中央研究所
-
安部 啓成
三菱マテリアル(株)
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新行内 隆之
三菱マテリアル株式会社中央研究所
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小野 直樹
三菱マテリアル
-
小野 直樹
三菱マテリアル(株)
-
喜田 道夫
三菱マテリアル(株)中央研究所
-
新井 義明
三菱マテリアル(株)中央研究所
-
佐平 健彰
三菱マテリアル(株)中央研究所
-
降屋 久
三菱マテリアル(株) 中央研究所
-
小野 直樹
三菱マテリアル(株)シリコン研究センター
-
喜田 道夫
三菱マテリアルシリコン(株) 技術本部
-
新行内 隆之
三菱マテリアル(株)中央研究所
-
新井 義明
三菱マテリアルシリコン(株) 技術本部
-
佐平 健彰
三菱マテリアル
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