連続チャージ型 MCZ 結晶に形成される結晶欠陥の制御 : バルク結晶成長シンポジウムII
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概要
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- 1996-07-10
著者
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降屋 久
三菱マテリアル(株) 中央研究所
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島貫 康
三菱マテリアルシリコン(株)
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降屋 久
三菱マテリアルシリコン(株)技術本部
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斉藤 丈生
三菱マテリアルシリコン(株)技術本部
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島貫 康
三菱マテリアルシリコン(株)技術本部
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