<シリコン中の結晶成長時導入欠陥の正体に迫る> シリコン単結晶中の成長時導入欠陥の形成挙動と電気特性への影響
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概要
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- 1997-07-10
著者
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降屋 久
三菱マテリアル(株) 中央研究所
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古川 純
三菱マテリアル(株)シリコン研究センター
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古川 純
三菱マテリアルシリコン(株)開発センター
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降屋 久
三菱マテリアルシリコン株式会社生産本都結晶生産技術部
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原田 和浩
三菱マテリアルシリコン株式会社生産本都結晶生産技術部
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