古川 純 | 三菱マテリアル(株)シリコン研究センター

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概要

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関連著者

• 古川 純

  三菱マテリアル(株)シリコン研究センター

• 中田 裕二

  三菱マテリアル(株)シリコン研究センター

• 白木 弘幸

  三菱マテリアル総合研究所

• 小野 直樹

  三菱マテリアル

• 小野 直樹

  三菱マテリアル(株)

• 降屋 久

  三菱マテリアル(株) 中央研究所

• 田中 英夫

  三菱マテリアル(株)シリコン研究センター

• 小野 直樹

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• 白木 弘幸

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• 古川 純

  三菱マテリアルシリコン(株)開発センター

• 降屋 久

  三菱マテリアルシリコン株式会社生産本都結晶生産技術部

• 原田 和浩

  三菱マテリアルシリコン株式会社生産本都結晶生産技術部

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著作論文

• 低速育成CZ-Si結晶における転位クラスターの形成過程(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
• シリコン単結晶中の成長時導入欠陥の形成挙動と電気特性への影響

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