田中 英夫 | 三菱マテリアル(株)シリコン研究センター

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概要

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• 同名の論文著者
• 三菱マテリアル(株)シリコン研究センターの論文著者

関連著者

• 中田 裕二

  三菱マテリアル(株)シリコン研究センター

• 白木 弘幸

  三菱マテリアル総合研究所

• 小野 直樹

  三菱マテリアル

• 小野 直樹

  三菱マテリアル(株)

• 古川 純

  三菱マテリアル(株)シリコン研究センター

• 田中 英夫

  三菱マテリアル(株)シリコン研究センター

• 小野 直樹

  三菱マテリアル(株)シリコン研究センター

• 白木 弘幸

  三菱マテリアル(株)シリコン研究センター

著作論文

• 低速育成CZ-Si結晶における転位クラスターの形成過程(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)

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