原田 和浩 | 三菱マテリアルシリコン株式会社生産本都結晶生産技術部

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概要

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• 同名の論文著者
• 三菱マテリアルシリコン株式会社生産本都結晶生産技術部の論文著者

関連著者

• 降屋 久

  三菱マテリアル(株) 中央研究所

• 降屋 久

  三菱マテリアルシリコン株式会社生産本都結晶生産技術部

• 原田 和浩

  三菱マテリアルシリコン株式会社生産本都結晶生産技術部

• 朴 在勤

  漢陽大學先端半導体素材 素子開発研究所産業大學院

• 古川 純

  三菱マテリアル(株)シリコン研究センター

• 池澤 一浩

  三菱マテリアルシリコン株式会社生産本都結晶生産技術部

• 古川 純

  三菱マテリアルシリコン(株)開発センター

著作論文

• 無欠陥結晶成長技術 : シリコン(21世紀を担うバルク単結晶)
• シリコン単結晶中の成長時導入欠陥の形成挙動と電気特性への影響

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