27a-N-3 CZシリコン中の酸素析出反応を利用した自己格子間原子の検出
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1995-09-12
著者
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佐藤 裕樹
名大工
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佐藤 裕樹
東大新領域
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降屋 久
三菱マテリアル(株) 中央研究所
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門井 幹夫
三菱マテリアルシリコン(株)
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島貫 康
三菱マテリアルシリコン(株)
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降屋 久
三菱マテリアルシリコン(株)技術本部
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島貫 康
三菱マテリアルシリコン(株)技術本部
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