島貫 康 | 三菱マテリアルシリコン(株)
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概要
関連著者
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島貫 康
三菱マテリアルシリコン(株)
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降屋 久
三菱マテリアル(株) 中央研究所
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島貫 康
三菱マテリアルシリコン(株)開発センター
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降屋 久
三菱マテリアルシリコン(株)技術本部
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島貫 康
三菱マテリアルシリコン(株)技術本部
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佐藤 裕樹
名大工
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佐藤 裕樹
東大新領域
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新屋敷 浩
三菱マテリアル株式会社中央研究所
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門井 幹夫
三菱マテリアルシリコン(株)
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新屋敷 浩
三菱マテリアルシリコン(株)開発センター
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木村 雅貴
三菱マテリアルシリコン(株)開発センター
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斉藤 丈生
三菱マテリアルシリコン(株)技術本部
著作論文
- 27a-N-3 CZシリコン中の酸素析出反応を利用した自己格子間原子の検出
- Siエピタキシャル成長におけるCOPピットの挙動(バルク成長分科会特集 : シリコン結晶の最近の話題から)
- 連続チャージ型 MCZ 結晶に形成される結晶欠陥の制御 : バルク結晶成長シンポジウムII
- CZシリコン中の欠陥核形成に及ぽす熱履歴の影響 : シンポジウムI