喜田 道夫 | 三菱マテリアル(株)中央研究所
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概要
関連著者
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小野 直樹
三菱マテリアル
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小野 直樹
三菱マテリアル(株)
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喜田 道夫
三菱マテリアル(株)中央研究所
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新井 義明
三菱マテリアル(株)中央研究所
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小野 直樹
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三菱マテリアルシリコン(株) 技術本部
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三菱マテリアル(株) 中央研究所
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三菱マテリアル(株)中央研究所
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三菱マテリアル(株) 中央研究所
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三菱マテリアル
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三菱マテリアル(株) 中央研究所
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町田 倫久
三菱マテリアルシリコン(株)技術本部
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新行内 隆之
三菱マテリアル(株)中央研究所
著作論文
- 2重るつぼを用いた連続CZ法Si結晶成長(バルク成長(II))
- 連続チャージ法によるシリコン単結晶の育成 : バルク成長シンポジウムII
- 27aA1 二重ルツボを用いたCMCZ法によるSi単結晶成長(バルク結晶成長シンポジウムI)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)