町田 倫久 | 三菱マテリアル(株) 中央研究所
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概要
関連著者
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町田 倫久
三菱マテリアル(株) 中央研究所
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町田 倫久
三菱マテリアルシリコン(株)技術本部
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三菱マテリアル(株) 中央研究所
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信州大
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新井 義明
三菱マテリアルシリコン(株) 技術本部
著作論文
- 連続チャージ法によるシリコン単結晶の育成 : バルク成長シンポジウムII
- シリコン融液表面のアルゴンガス流れと単結晶中の酸素濃度(バルク成長分科会特集 : 結晶成長時における気液界面の物質移動と結晶に与える影響)