新行内 隆之 | 三菱マテリアル株式会社中央研究所
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概要
関連著者
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新行内 隆之
三菱マテリアル株式会社中央研究所
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佐平 健彰
三菱マテリアル
著作論文
- 酸素イオン注入 Si 層の結晶性回復と向上 - SIMOX の結晶性向上 -
- Si ウエハー表面金属の洗浄液中での挙動
- 27aA1 二重ルツボを用いたCMCZ法によるSi単結晶成長(バルク結晶成長シンポジウムI)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)