209 工業用純チタン試験片に形成させたTiNスパッタ薄膜の割れ強度およびはく離強度評価(機械材料・材料加工III)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2000-02-25

著者

• 顔 旭

  株式会社ヤマトメック研究開発室

• 中佐 啓治郎

  広島大学大学院工学研究科

• 加藤 昌彦

  Salesian Polytechnic

• 顔 旭

  広島大院

• 加藤 昌彦

  広島大工

• 中佐 啓治郎

  広島大工

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