荷重制御下の繰返し圧子押込みによるTiNおよびSiCスパッタ薄膜のはく離特性評価

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概要

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• 日本材料学会の論文

著者

• 中佐 啓治郎

  広島大学大学院工学研究科

• 加藤 昌彦

  Salesian Polytechnic

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