1A1-C4 水熱法によるマイクロ接触センサ(64. 触覚・力覚)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-06-08
著者
-
新井 史人
名古屋大学
-
糸魚川 貢一
(株)東海理化
-
福田 敏男
名古屋大学
-
塚原 靖典
株式会社東海理化
-
糸魚川 貢一
(株)東海理化技術開発センター開発部マイクロシステム開発室
-
糸魚川 貢一
東海理化電機製作所
-
権 貴龍
Department of Micro System Engineering, Nagoya University
-
権 貴龍
名古屋大
-
塚原 靖典
東海理化
-
糸魚川 貢一
東海理化
-
福田 敏男
名古屋大
-
新井 史人
名古屋大
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