H125 近接場光を用いたナノスケール熱物性計測法の開発 : 第 2 報高分解能化の検討
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概要
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In The field of nanotechnology, the nano-scale thermal properties are becoming increasingly important for the thermal design of electronic devices as the MEMS technology makes significant progresses. In the previous report, we proposed a new thermal properties measurement technique by using near-field optics, and demonstrated the validity of the present theory and the apparatus, which was confirmed under 500nm spatial resolution. In the present report, out recent development where we adopted a new detection scheme to accomplish higher spatial resolution (∿100nm), and a new device to evaluate the nwe detection technique, are presented.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-11-10
著者
-
田口 良広
慶應義塾大学理工学部
-
長坂 雄次
慶大理工
-
斎木 敏治
慶大理工
-
斎木 敏治
神奈川科学技術アカデミー
-
斎木 敏治
慶応大 理工
-
堀口 幸裕
慶應義塾大学大学院理工学研究科
-
堀口 幸裕
慶大院
-
田口 良広
慶大院
-
SATO Tetsuya
National Institute for fusion Science
-
斎木 敏治
慶應義塾大学理工学部 神奈川科学技術アカデミー
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