201 2 自由度マイクロ光スイッチの変位解析
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概要
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Studies on optical switches have been researched and developed for optical information networks for a highly developed information technology society. In reality, however, a manipulator cannot apply for multi input and output due to a rather small output displacement at mirror parts of actuators. Therefore, in order to develop optical switches capable of switching multi input and output, we suggest an electrostatic driving-type micro-manipulator that is capable of large angular output displacement by low applied voltage. The actuator is driven by the method of suction between the beam supporting a mirror and the fixed plate with a insulating membrane on it.
- 2002-04-18
著者
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