表面粗さを含む金属表面層の光学的性質に対する有効媒質近似および長波長近似の妥当性
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概要
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The effects of surface roughness on the optical properties of metals have been discussed by comparing experimental results of ellipsometry with theoretical results from the homogeneous effective medium model (HEM), the monolayer effective medium model (MEM) and the gradual density layer model (GDL). A gradual increase of |r_p/r_s|(=p) has been observed with the increase in surface roughness at a higher angle than θ_B and gradual decrease at lower angle than θ_B, where θ_B is the pseudo-Brewster's angle. Though HEM models do not explain the roughness effect on optical properties, MEM model and GDL model show good explanations for the optical effects from rough metal surface, when Δd<<λ.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 1999-12-25
著者
-
小竹 茂夫
三重大学工学部
-
妹尾 允史
三重tlo
-
鈴木 泰之
三重大学工学部
-
妹尾 允史
三重大学工学部機械工学科
-
陳 恒
三重大学大学院
-
宮重 博充
三重大学大学院
-
陳 恒
三重大学大学院 : (現)東京コンピューターサービス(株)
-
宮重 博充
三重大学大学院 : (現)東芝
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