920 トンネル電流による金属薄膜の超微細加工

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2000-07-31

著者

• 鈴木 泰之

  三重大工

• 妹尾 允史

  三重大工

• 妹尾 允史

  三重tlo

• 木下 正臣

  三重大・院

• 小竹 茂夫

  三重大工

• 木下 正臣

  三重大院

• 大岡 功治

  日本電池

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