415 イオン注入による金属のマイクロ加工(O.S.8. 微細精密加工と材料)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2000-03-01

著者

• 妹尾 允史

  三重tlo

• 小竹 茂夫

  三重大・工

• 鈴木 泰之

  三重大・工

• 王 萬輝

  三重大・院

• 岩尾 潔

  三重大・学

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