404 イオン注入によるc-BN合成における注入エネルギーの影響(薄膜創成・物性)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-03-01
著者
-
鈴木 泰之
三重大学大学院工学研究科
-
妹尾 允史
三重大工
-
小竹 茂夫
三重大学工学部
-
妹尾 允史
三重tlo
-
小竹 茂夫
三重大・工
-
妹尾 允史
三重大・工
-
杉本 直章
三重大・院
-
石本 誠尚
三重大・学
-
石本 誠尚
三重大院
-
鈴木 泰之
三重大 大学院工学研究科
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