563 パルス化直流プラズマCVD法によるB_2O_3からのcBN薄膜の作成と評価(OS8-3 軽量化,機能化のための表面創製技術,OS8 軽量化,機能化のための界面・表面創製ならびに塑性加工技術)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2011-03-01

著者

• 鈴木 泰之

  三重大学大学院工学研究科

• 小竹 茂夫

  三重大院・工

• 鈴木 泰之

  三重大院・工

• 河村 貴宏

  三重大院・工

• 西田 貴文

  三重大院・工

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