433 R.Fスパッタリング作成条件によるBN薄膜の相の変化(O.S.9. 機能薄膜創成と物性)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2000-03-01

著者

• 妹尾 允史

  三重tlo

• 小竹 茂夫

  三重大・工

• 鈴木 泰之

  三重大・工

• 妹尾 允史

  三重大・工

• 加藤 雅士

  三重大・院

• 長谷川 貴哉

  三重大・学

• 林成 治

  三重大・学

• 長谷川 貴哉

  三重大学院

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