電気抵抗温度依存性の測定によるアルミニウム薄膜の音速評価
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概要
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The evaluation of sound velocity, elastic constant of thin film has not been well established. The relation between electrical resistivity and sound velocity has been clarified from the calculation on the temperature dependence of electrical resistivity by well-known linear response theory. From the experimental data of electrical resistivity, we evaluated sound velocity and elastic constant of thin films by using the linear response theory, pseudopotential method. We also confirmed the method to evaluate the mechanical properties of thin film by measuring electrical resistivity.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1998-05-25
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