レーザによる表面粗さの迅速な測定法
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概要
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An optical technique for rapidly measuring surface roughness using a laser is proposed. The reflected intensity distribution of a laser beam irradiated on a surface of an aluminum specimen was measured with a plasma-coupled device (PCD). The reflected intensity curve can be approximated by a Gaussian function. The broadness of the intensity curve was evaluated with the standard deviation, called a Gaussian curve parameter (GCP), of a Gaussian function approximating the intensity distribution curve. The GCP can be determined in 2s. The smoothing of the reflected intensity data is not necessary in calculating GCP because GCP's with and without data smoothing almost agreed. The center line averaged roughness R_a increases with increasing GCP.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1990-12-25
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