化学気相析出法による炭化ケイ素の高温酸化挙動(第56回日本セラミック協会学術受賞研究論説)
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概要
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The transitions from active to passive oxidation and from passive oxidation to bubble formation for CYD SiC were determined by changing oxygen partial pressures in O_2-Ar, CO_2-Ar and CO-CO_2 atmospheres at tem peratures from 1600 to 2000 K. The active-to-passive transition behavior was significantly different between O_2-Ar and CO-CO_2 atmosphere, however the transition kinetics in both atmospheres were well explained by Wagner model, volatility diagram and numerical thermodynamic calculation. The transition behavior from passive oxidation to bubble formation was understood by calculating the equilibrium vapor pressures of SiO and CO at the SiO_2/SiC interface.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2002-10-01
著者
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