水蒸気及び還元性ガス雰囲気中における酸化スズ薄膜の抵抗率の経時変化
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概要
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The long term variations in the resistivity of Sn0_2 films in air containing water vapor or reducing gas (denoted as wet air or test gas, respectively) were in vestigated quantitatively. Analyses of electronic properties, weight increase, film structure and chemical bonding condition of thin films showed that the resistivity increase in wet air and the decrease in the test gas were caused by a decrease and an increase in amount of oxygen vacancy in the lattice, respectively, accompanied with a change of carrier concentration.
- 1995-12-01
著者
-
高橋 康隆
岐阜大学工学部
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大矢 豊
岐阜大学工学部
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大矢 豊
岐阜大工
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大矢 豊
岐阜大学工学部機能材料工学科
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大矢 豊
岐阜大学工学部応用化学科
-
金森 正晃
NOK(株)研究開発本部研究一部
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山田 武司
Nok(株)研究開発本部研究一部
-
鈴木 清宏
NOK(株)研究開発本部研究一部
-
高橋 康隆
岐阜大学工学部機能材料工学科:(現)大研化学(株)
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