金属アルコキシドーDEA法によるPZT薄膜の合成と性質 : 合成・キャラクタリーゼーション
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概要
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An uniform and stable iso-propanol solution of mixed alkoxides of lead n-butoxide, zirconium n-butoxide, and titanium n-butoxide was prepared by adding diethanolamine which suppresses the polymerization and hydrolysis of metal alkoxides. PZT thin films were synthesized from this solution by dip-coating technique. PZT thin films having a perovskite structure were obtained on various substrates and their properties were examined. PZT films formed on the platinum substrate at 700℃ showed a ferroelectric hysteresis loop, a remanent polarization of 14μ C/cm^2, and a coercive field of 45 kV/cm. Their dielectric constant and dielectric loss angle were 700 and 0.03 , respectively.
- 1990-08-01
著者
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高橋 康隆
岐阜大学工学部
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小林 啓佑
東レ
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小林 啓佑
東レ(株)高分子研究所
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鈴木 達彦
東レ(株)高分子研究所
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松木 理悌
東レ(株)高分子研究所
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松田 良夫
東レ(株)高分子研究所
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高橋 康隆
岐阜大学工学部機能材料工学科:(現)大研化学(株)
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