高周波マグネトロンスパッタリング法により作製したLa及びMg添加のPbTiO_3薄膜の結晶学的性質
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概要
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Highly c-axis-oriented lanthanum- and magnesium-modified PbTiO_3 thin films with compositions of {(1-x)Pb_<0.9>La_<0.1>Ti_<0.975>O_3+xMgO}, where x=0-0.025 (PLMT), were prepared on (100)-oriented Pt film electrodes/(100)MgO single-crystal substrate by rf-magnetron sputtering method. The c-axis orientation, crystallinity, and structure of surface and cross section of films obtained were investigated in detail. From the viewpoint of the crystallographic properties, PLMT films with compositions of x=0.005-0.010 show great promise as new element thin-film materials.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1995-03-01
著者
-
小舟 正文
姫路工業大学工学部応用化学科
-
高山 良一
松下電器産業(株)先行デバイス開発センター
-
友澤 淳
松下電器産業(株)先行デバイス開発センター
-
藤井 知
姫路工業大学工学部応用化学科
-
藤井 知
姫路工業大学工学部
-
藤井 知
姫路工業大学応用化学科
-
赤松 謙次
姫路工業大学工学部応用化学科
-
藤井 知
姫路工業大学
-
高山 良一
松下電器産業(株)中央研究所
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