KrFエキシマレーザー照射によるSrTiO_3基セラミックス表面でのバリスター層の形成
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概要
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KrF excimer laser was irradiated on insulating SrTiO_3 polycrystals sintered in air and diffused with metal oxides through grain boundary. Surface varistor layer with nonlinear coefficient of 2.8-5.2 was formed by the laser irradiation. The exhibition of nonlinear I-V characteristics is attributed to surface grains made semiconductive by laser irradiation and the potential barrier at grain boundaries preserved after laser irradiation. The varistor layer was found to be formed by excimer laser irradiation on SrTiO_3-based ceramics without the heat treatment in reducing atmosphere.
- 1999-12-01
著者
-
宮山 勝
東京大学生産技術研究所
-
工藤 徹一
長崎大学工学部
-
工藤 徹一
Nagasaki University
-
工藤 徹一
東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻
-
尹 鍾源
東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻
-
檜垣 勝己
大阪ガス(株)開発研究部
-
尹 鐘源
東京大学先端科学技術研究センター
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