UV照射した過酸化ポリタングステン酸薄膜中に安定に捕獲される酸素分子
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概要
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Peroxo polytungstic acids are promising inorganic resist materials which become insoluble in water by UV irradiation. After UV irradiation, part of oxygen molecules, decomposition product of the peroxo groups, was stably caged in the amorphous network. This mechanism is discussed in connection with the densification of thin films during UV irradiation.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1993-01-01
著者
-
工藤 徹一
東京大学生産技術研究所
-
岸本 昭
Graduate School Of Natural Science And Technology Okayama University
-
岸本 昭
東京大学生産技術研究所
-
岸本 昭
岡山大学大学院自然科学研究科
-
工藤 徹一
長崎大学工学部
-
工藤 徹一
Nagasaki University
-
松崎 尚介
東京理科大学工学部工業化学科
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