窒化アルミニウムおよび窒素を共添加した炭化ケイ素セラミックスのピエゾ抵抗効果
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概要
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Evaluation samples of α-silicon carbide ceramics were first fabricated by glass capsule HIP method using powder mixture of silicon carbide and aluminum nitride with various ratio. The resultant aluminum nitride added silicon carbide ceramics were doped with nitrogen by changing the post-HIP nitrogen gas pressure. The lattice parameter increased with the amount of adding aluminum nitride indicating that the incorporated aluminum substituted smaller silicon atoms. After post-HIP treatment, lattice parameter then decreased with nitrogen gas pressure. The piezoresistive coefficient increased with the addition of aluminum nitride, it further increased with the nitrogen doping pressure.
- 2006-11-15
著者
-
林 秀考
岡山大学大学院自然科学研究科機能分子化学専攻
-
岸本 昭
岡山大学大学院自然科学研究科機能分子化学専攻
-
岸本 昭
Graduate School Of Natural Science And Technology Okayama University
-
岸本 昭
東京大学生産技術研究所
-
岸本 昭
岡山大学大学院自然科学研究科
-
林 秀孝
Graduate School Of Natural Science And Technology Okayama University
-
岡田 泰行
岡山大学大学院自然科学研究科機能分子科学専攻
-
林 秀考
岡山大学大学院自然科学研究科
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