窒化ケイ素の熱伝導率に及ぼす焼結体中の酸素の影響
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概要
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Silicon nitride powders with concurrent addition of Yb_2O_3 and MgO were sintered at 1900℃ for 2-48 h under 0.9 MPa nitrogen pressure. Microstructure, Iattice oxygen content and thermal conductivity of the sintered specimens were evaluated. All specimens had a duplex microstructure composed of small matrix grains and elongated grains. Thermal conductivities of sintered bodies were remarkably increased with sintering time and reached a maximum value of about 120W・ m^<-1>・K^<-1>. The lattice oxygen content of dense silicon nitride sintered body decreased with sintering time. The thermal conductivity increased with decreasing the lattice oxygen content. So far, it was reported that the thermal conductivity of Si_3N_4 was affected by grain size and morphology, composition and thickness of grain boundary layer. It was revealed that thermal conductivity of sintered specimen was closely related to the oxygen content present in the silicon nitride lattice.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2001-12-01
著者
-
林 裕之
産総研 シナジーセ
-
神崎 修三
名古屋工業技術研究所
-
平尾 喜代司
産業技術総合研究所
-
平尾 喜代司
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
-
北山 幹人
福岡工業大学大学院 工学研究科 生命環境科学専攻
-
山内 幸彦
産業技術総合研究所シナジーマテリアル研究センター
-
神崎 修三
産業技術総合研究所シナジーマテリアル研究センター
-
平尾 喜代司
独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門
-
神崎 修三
産業技術総合研究所 シナジーマテリアル研究センター
-
平尾 喜代司
名古屋工業技術研究所
-
林 裕之
産業技術総合研究所シナジーマテリアル研究センター
-
北山 幹人
福岡工業大学機能材料工学科
-
山内 幸彦
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
山内 幸彦
産業技術総合研究所 シナジーマテリアル研究センター
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