シリコン単結晶薄膜(VIII) : 薄膜

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1969-03-30

著者

• 河津 璋

  東大工

• 菅 義夫

  東大工

• 難波 進

  理研

• 大宮 敏敷

  上智大理工

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