31a-F-1 単色陽電子を用いたSiのイオン注入欠陥の検出

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1990-03-16

著者

• 魏 龍

  筑波大学物質工学系

• 谷川 庄一郎

  筑波大物質工学

• 谷川 庄一郎

  筑波大物質工

• 趙 陽九

  韓国標準研

• 魏 龍

  筑波大物質工

• 道正 智世

  筑波大物質工

• 谷川 庄一郎

  筑波大物質

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