3a-M-11 X線散漫散乱によるシリコン単結晶中の微小欠陥の解析

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1984-09-10

著者

• 菊田 惺志

  東大工

• 高橋 敏男

  東大工

• 後藤 俊治

  東大工

• 高橋 敏男

  東大・物性研

• 金 漢泰

  朝鮮大・工

• 井上 直久

  厚木通研

• 金 漢泰

  朝鮮大工

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