2p-F-6 DIVAにおけるカーボンのスパッタリング特性
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1979-09-11
著者
-
松田 俊明
原研
-
松田 俊明
原研核融合
-
阿部 哲也
原研
-
松本 宏
原研核融合:プラズマ実験研究室:装置技術管理室
-
仙石 盛夫
原研核融合
-
大塚 英男
原研
-
大塚 英男
原研核融合
-
阿部 哲也
原研核融合
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