X線非対称反射を用いたZnSe/GaAsの膜厚精密決定
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1996-09-13
著者
-
加藤 弘之
神戸大学大学院経済学研究科
-
石田 興太郎
東理大理工
-
八百 隆文
東北大金材研
-
侘美 克彦
東理大理工
-
高瀬 文
東理大理工
-
栗林 勝
東理大理工
-
木村 康三
JRCA-ATP
-
Kuo Li-hsin
JRCA-ATP
-
安田 哲二
JRCA-ATP
-
三輪 司郎
JRCA-NAIR
-
八百 隆文
JRCA-NAIR
-
石田 興太郎
理科大
-
栗林 勝
理学電機(株)
-
三輪 司郎
Jrcat-atp
-
木村 康三
アトムテクノロジー研究体
-
安田 哲二
(独)産業技術総合研究所ナノ電子デバイス研究センター
-
安田 哲二
産業技術総合研究所
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