PCb01 赤外エリプソメトリによる配向膜評価の検討

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概要

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• We investigated infrared ellipsometry as a new technique to characterize molecular orientation of rubbed polyimide film. In polarization spectra of reflected infrared beam from rubbed polyimide film on glass substrate, characteristic structures corresponding vibrations of -O-, C-N-C and benzene. Anisotropy of polarization was also observed at the wavenumber corresponding vibrations of C-O-C, C-N-C and benzene. It is expected that infrared reflection ellipsometry can determine polyimide molecular orientation by combining with reflection ellipsometry of visible light.

• 日本液晶学会の論文
• 1999-09-28

著者

• 廣沢 一郎

  Japan Synchrotron Radiation Research Institute (JASRI)

• 広沢 一郎

  NEC

• 広沢 一郎

  高輝度光科学研究センター

• 広沢 一郎

  Nec分析評価センター

• 広沢 一郎

  Jasri

• 廣沢 一郎

  高輝度光科学研究センター(spring-8)

• 廣沢 一郎

  (財)高輝度光科学研究センター利用研究促進部門i

• 廣沢 一郎

  財団法人高輝度光科学研究センター

• 広沢 一郎

  Necデバイス評価技術研究所

• 廣沢 一郎

  財団法人高輝度光科学センター

• 廣沢 一郎

  NECデバイス評価技術研究所

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