変位補償型静圧気体スラスト軸受の研究 : 静的特性
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概要
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A new type of aerostatic thrust bearing is proposed in order to get a high static stiffness. This bearing has a diaphragm and a chamber. Pressure acting upon the guide surface is transmitted into the chamber located at the back of the beariug, and deforms the diaphragm so as to compensate the change of the bearing clearance caused by the imposed load. Therefore, the support height of the bearing can be kept constant. The static characteristics of this bearing are affected by various design parameters, such as supply pressure and the thickness of diaphragm. The effects of these parameters are investigated theoretically and experimentally. The proposed bearing could get a very high stiffness under the proper design parameters.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1999-04-05
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